Μέλος VIP
Σειρά LSC Compact θέρμανση ατμισμού
Σειρά LSC Compact θέρμανση ατμισμού
Λεπτομέρειες προϊόντος
- Αεριοποίηση μεγάλης ροής
- Το LSC-A100 παρέχει σταθερή αεριοποίηση υλικών όπως TEOS 600SCCM και H2O 2SLM
- Η συντήρηση όλων των συσκευών μπορεί να γίνει στο front-end της συσκευής
- Προαιρετικό PDA για την παρακολούθηση της κατάστασης λειτουργίας του LSC και την καταγραφή και ανάλυση αρχείων εγγραφής λειτουργίας

Ηλεκτρονική έρευνα
